| 国家/地区 | 中国(3) |
| IPC部 | C(3) |
| IPC大类 | C23(2) |
| IPC小类 | C23C(2) |
| IPC | C23C016/44(2) |
| 发明人 |
WU T(3)
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| 公开年 | 2016(2) |
| 申请年 |
2016(3)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)
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YU G, WU T, XIE X, SHI Z, CHEN J, ZHANG Y, SUI Y, CHEN Z
CHEN J, WU T, WANG H, XIE X
