| 国家/地区 | 中国(5) |
| IPC部 | C(3) G(3) |
| IPC大类 | G01(3) C23(2) |
| IPC小类 | G01N(3) C23C(2) |
| IPC | G01N027/30(2) |
| 发明人 |
XU P(5)
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| 公开年 | 2021(3) |
| 申请年 | 2021(3) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)
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WANG X, SU L, SHI J, XU P, LI X
