国家/地区 中国(5) 世界知识产权组织(4) 美国(2)
IPC部 C(5) B(2)
IPC大类 C01(4) C23(4) B82(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(4) B82Y(2)
IPC C01B031/04(4) C23C016/02(3) C23C016/26(3)
B82Y040/00(2)
发明人 JIANG M(5)
公开年 2012(5)
申请年 2012(3)  2011(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)