| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 | C(3) |
| IPC大类 | C01(2) C23(2) |
| IPC小类 | C01B(2) C23C(2) |
| IPC | C23C016/26(2) |
| 发明人 |
WU T(3)
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| 公开年 |
2016(3)
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| 申请年 | 2016(2) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)
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CHEN J, WU T, WANG H, XIE X
WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
