国家/地区 中国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(2) C23(2)
IPC小类 C01B(2) C23C(2)
IPC C23C016/26(2)
发明人 WU T(3)
公开年 2016(3)
申请年 2016(2) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)