国家/地区 中国(5)
IPC部 G(3) C(2) H(2)
IPC大类 G01(3) C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) G01N(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(2)
发明人 GAO A(2) LI T(2) SONG H(2)
TONG J(2) WANG Y(2) ZHANG D(2)
ZHANG L(2)
公开年 2017(5)
申请年 2017(5)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)