| 国家/地区 | 中国(5) |
| IPC部 |
G(3)
C(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
G01(3)
C23(2)
H01(2)
|
| IPC小类 |
C23C(2)
G01N(2)
H01L(2)
|
| IPC | C23C016/26(2) |
| 发明人 |
GAO A(2)
LI T(2)
SONG H(2)
TONG J(2) WANG Y(2) ZHANG D(2) ZHANG L(2) |
| 公开年 |
2017(5)
|
| 申请年 |
2017(5)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)
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WANG H, CHEN L, HE L, XIE H, WANG X, XIE X
LUO X, WANG C, TAN Z, CAO J
LI T, TONG J, WANG Y, ZHANG L, GAO A, ZHANG D, SONG H
LI T, WANG Y, TONG J, ZHANG L, GAO A, ZHANG D, SONG H
