| 国家/地区 | 中国(3) |
| IPC部 | G(2) H(2) |
| IPC大类 | G01(2) H01(2) |
| IPC小类 | H01L(2) |
| IPC | H01L031/09(2) |
| 发明人 |
ZHANG L(3)
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| 公开年 |
2018(3)
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| 申请年 | 2017(3) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)
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LI T, WANG Y, TONG J, ZHANG L, GAO A, ZHANG D, SONG H
