国家/地区 中国(3)
IPC部 G(2) H(2)
IPC大类 G01(2) H01(2)
IPC小类 H01L(2)
IPC H01L031/09(2)
发明人 ZHANG L(3)
公开年 2018(3)
申请年 2017(3) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)