国家/地区 美国(4)
IPC部 H(4) B(2) C(2)
IPC大类 H01(4) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2)
发明人 KIM Y(2) KONG D(2) KUMAR K(2)
LEE W Y(2) YANG E(2)
公开年 2014(4)
申请年 2013(2)  2014(2) 
专利权人 STEVENS INST TECHNOLOGY(4)