国家/地区 美国(4)
IPC部 H(4)
IPC大类 H01(4)
IPC小类 H01L(4)
IPC H01L021/285(2) H01L023/522(2) H01L023/532(2)
发明人
公开年 2015(4)
申请年 2015(2) 
专利权人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MFG CO LTD(4)