国家/地区 中国(6)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 C01(4) H01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B031/04(3) H01L031/18(2)
发明人 YANG Q(6)
公开年 2015(3) 2021(3)
申请年 2015(3)  2021(3) 
专利权人 UNIV CHINA SCI TECHNOLOGY(6)