国家/地区 NL（2） 世界知识产权组织（2）
IPC部 B（2） G（2）
IPC大类 B82（2）
IPC小类 B82Y（2）
IPC
发明人
公开年 2021（2）
申请年 2020（2） 
专利权人 UNIV DELFT TECH（2）

Sensor assembly useful for monitoring activity of microorganism, living cell constituent, virus, or living nano-organism, comprises two dimensional micro-scale motion detector containing inert suspended layer, and read-out system.

ALIJANI F, STEENEKEN P G, ROSLON I E, JAPARIDZE A, DEKKER C, DEKKER F C, ROSLON A I E

Method for producing e.g. light sail with high selectivity dry release of dielectric structure, involves under-etching release layer through remaining release layer to form cavity underneath release layer by using gaseous etchant.

GROEBLACHER S, NORTE R