国家/地区 世界知识产权组织(6)
IPC部 C(4) H(3) B(2)
G(2)
IPC大类 C01(3) H01(3) C23(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) C01B032/186(2) C01B032/194(2)
C23C016/26(2)
发明人 RUSSO S(5) BOINTON T H(3) CRACIUN M(3)
CRACIUN M F(2)
公开年 2019(2)
申请年 2019(2) 
专利权人 UNIV EXETER(6)