国家/地区 中国(17)
IPC部 H(9) C(6) B(4)
G(4)
IPC大类 H01(9) C01(4) G01(3)
B01(2) B82(2)
IPC小类 H01L(7) C01B(4) G01N(3)
B01J(2) B82Y(2)
IPC C01B031/04(4) H01L021/02(3) H01L021/285(3)
发明人 YANG S(6) ZHOU P(6) SHEN Y(5)
LU H(3) WEI H(3) DENG C(2)
DONG L(2) LIN S(2) ZHANG Y(2)
公开年 2014(12) 2015(4)
申请年 2014(17)
专利权人 UNIV FUDAN(17)