国家/地区 中国(8)
IPC部 H(4) C(3) B(2)
G(2)
IPC大类 H01(4) B01(2) C01(2)
G01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) G01N(2)
IPC H01L027/11521(2) H01L029/06(2) H01L029/24(2)
发明人 ZHANG W(3) CHEN L(2) SUN Q(2)
ZHU B(2)
公开年 2020(9)
申请年 2020(6)  2019(3) 
专利权人 UNIV FUDAN(9)