国家/地区 中国(9)
IPC部 C(7) H(5) B(4)
IPC大类 H01(5) C01(4) B82(2)
C23(2)
IPC小类 C01B(4) H01M(3) B82Y(2)
C23C(2) H01L(2)
IPC C01B025/02(3) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C01B032/184(2) C01B032/19(2) H01L035/14(2)
H01L035/34(2)
发明人 LI X(9)
公开年 2021(4) 2018(2) 2022(2)
申请年 2021(3)  2017(2)  2022(2) 
专利权人 UNIV KUNMING SCI TECHNOLOGY(9)