| 国家/地区 | 中国(8) |
| IPC部 |
H(4)
G(3)
B(2)
C(2) |
| IPC大类 |
H01(4)
G01(3)
B82(2)
C23(2) |
| IPC小类 |
H01L(3)
B82Y(2)
C23C(2)
G01N(2) |
| IPC |
H01L031/032(3)
H01L031/109(3)
H01L031/18(3)
|
| 发明人 |
GUO Z(3)
WANG H(3)
ZHANG H(3)
DIAO D(2) FAN X(2) |
| 公开年 | 2019(4) 2020(4) |
| 申请年 |
2019(8)
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| 专利权人 |
UNIV SHENZHEN(8)
|
ZHANG Z, GAO Z, FANG R, LI H, HE W, LIN W, DU C
ZHANG H, ZENG Y, WANG H, GUO Z
ZHANG H, GAO S, WANG H, GUO Z
FAN X, HUANG W, DIAO D
