国家/地区 中国(8)
IPC部 H(4) G(3) B(2)
C(2)
IPC大类 H01(4) G01(3) B82(2)
C23(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2) C23C(2)
G01N(2)
IPC H01L031/032(3) H01L031/109(3) H01L031/18(3)
发明人 GUO Z(3) WANG H(3) ZHANG H(3)
DIAO D(2) FAN X(2)
公开年 2019(4) 2020(4)
申请年 2019(8)
专利权人 UNIV SHENZHEN(8)