国家/地区 中国(5)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC H01L021/28(2) H01L031/0224(2) H01L031/18(2)
发明人 CHANG S(2) HUANG M(2) YUAN H(2)
公开年 2017(5)
申请年 2016(5)
专利权人 UNIV WUHAN SCI TECHNOLOGY(5)