国家/地区 中国(5)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 H01(3) C01(2) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) C23C(2)
IPC H01L031/18(3) H01L031/028(2) H01L031/109(2)
发明人 ZANG Y(5)
公开年 2018(2) 2023(2)
申请年 2022(2) 
专利权人 UNIV XIAN POLYTECHNIC(5)