| 国家/地区 | 日本(3) 美国(3) |
| IPC部 |
H(3)
B(2)
C(2)
|
| IPC大类 |
H01(3)
B82(2)
C01(2)
|
| IPC小类 |
H01L(3)
B82Y(2)
C01B(2)
|
| IPC |
H01L021/768(3)
H01L023/532(3)
B82Y030/00(2)
C01B031/02(2) H01L021/3205(2) H01L029/06(2) |
| 发明人 |
ISOBAYASHI A(3)
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| 公开年 | 2014(2) |
| 申请年 | 2013(2) |
| 专利权人 |
WADA M(3)
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SAITO T, WADA M, ISOBAYASHI A, KAJITA A, MIYAZAKI H, SAKAI T
WADA M, MIYAZAKI H, KAJITA A, ISOBAYASHI A, SAITO T, SAKAI T
