国家/地区 日本(3) 美国(3)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2) C01B(2)
IPC H01L021/768(3) H01L023/532(3) B82Y030/00(2)
C01B031/02(2) H01L021/3205(2) H01L029/06(2)
发明人 ISOBAYASHI A(3)
公开年 2014(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 WADA M(3)