国家/地区 中国(7)
IPC部 C(4) H(4) A(2)
B(2)
IPC大类 H01(4) B82(2) C01(2)
C09(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC H01L033/00(3) H01L033/02(3) H01L033/12(2)
发明人 WEI Y(7) FAN S(3)
公开年 2013(3)
申请年 2012(3) 
专利权人 WEI Y(7)