国家/地区 中国(3)
IPC部 H(3)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L043/10(3) H01L043/08(2)
发明人 YU M(3)
公开年 2022(3)
申请年 2022(3) 
专利权人 YU M(3)