国家/地区 韩国(3) 美国(3)
IPC部 H(4) B(3) C(2)
IPC大类 H01(4) B82(2) C23(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2) C23C(2)
IPC H01L021/02(3) H01L029/16(3) B82Y030/00(2)
H01L029/778(2) H01L029/786(2)
发明人 AHN J(4)
公开年 2014(4)
申请年 2013(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(3) UNIV SUNGKYU.(3) AHN J(2)