国家/地区 美国(3)
IPC部 G(3) H(3)
IPC大类 G01(3) H01(3)
IPC小类 G01N(3) H01L(3)
IPC G01N021/552(3) H01L021/02(3) H01L021/04(3)
H01L021/56(2)
发明人 AVOURIS P(3)
公开年 2016(3)
申请年 2016(3) 
专利权人 INT BUSINESS.(3)