| 国家/地区 | 中国(3) 美国(2) |
| IPC部 |
C(2)
G(2)
H(2)
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| IPC大类 | C23(2) H01(2) |
| IPC小类 | C23C(2) H01L(2) |
| IPC | C23C014/24(2) |
| 发明人 |
BAI F(3)
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| 公开年 | 2015(3) |
| 申请年 |
2015(3)
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| 专利权人 | BEIJING BOE .(3) BOE TECHNOLO.(3) BEIJING BOE .(2) |
