国家/地区 中国(3) 美国(2)
IPC部 C(2) G(2) H(2)
IPC大类 C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC C23C014/24(2)
发明人 BAI F(3)
公开年 2015(3)
申请年 2015(3)
专利权人 BEIJING BOE .(3) BOE TECHNOLO.(3) BEIJING BOE .(2)