| 国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(5)
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| IPC部 |
C(3)
H(3)
B(2)
G(2) |
| IPC大类 | H01(3) |
| IPC小类 | H01L(2) |
| IPC | |
| 发明人 |
CHEN Y(5)
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| 公开年 | 2021(4) |
| 申请年 | 2019(3) |
| 专利权人 |
YANG S, XIA K, HUNG S F, CHEN Y, HONG Z
HENCKENS A, THEUNISSEN E, YANG J, ZHANG Y, CHEN Y
CHEN Y, QIN C, WANG J, PEI P, CHU B, ZHANG P
LI C, CHEN Y, LI J W, CHEN Y C
XU X, YAO X, PENG G, ZHOU L, CHEN Y
