国家/地区 欧洲专利局(EPO)(5)
IPC部 C(3) H(3) B(2)
G(2)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(2)
IPC
发明人 CHEN Y(5)
公开年 2021(4)
申请年 2019(3) 
专利权人