国家/地区 韩国(3)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(3)
IPC C01B031/04(3) H01L029/16(2) H01L029/78(2)
发明人 CHO K(4)
公开年 2017(4)
申请年 2015(3) 
专利权人 CENT ADVANCE.(2)