| 国家/地区 | 韩国(4) |
| IPC部 | H(4) C(3) |
| IPC大类 | H01(4) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(4) C23C(2) |
| IPC |
C23C016/26(2)
H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
H01L051/00(2) |
| 发明人 |
CHO K W(4)
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| 公开年 | 2020(3) |
| 申请年 |
2019(4)
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| 专利权人 | CENT ADVANCE.(4) POSTECH ACAD.(4) |
CHO K W, LEE H C, YOO M S, CHUNG H J
