国家/地区 韩国(5) 美国(3)
IPC部 B(4) C(3) H(2)
IPC大类 C01(3) B82(2) C23(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(3) H01L021/02(2)
发明人 CHO S M(5)
公开年 2012(3)
申请年 2011(5)
专利权人 SAMSUNG TECH.(4) HANWHA TECHW.(3)