国家/地区 韩国(6) 中国(3) 美国(3)
IPC部 H(4) C(3)
IPC大类 H01(4) C23(3) C01(2)
IPC小类 C23C(3) C01B(2) H01B(2)
H01L(2)
IPC C01B031/02(2) C01B031/04(2) H01B013/00(2)
发明人 CHOI M(6)
公开年 2014(3) 2015(2)
申请年 2014(6)
专利权人 LG ELECTRONI.(4)