国家/地区 韩国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 A(3) C(3) G(2)
H(2)
IPC大类 A61(2) C01(2) C12(2)
G01(2) H01(2)
IPC小类 A61B(2) C01B(2) G01N(2)
H01L(2)
IPC C01B031/04(2) C01B032/182(2) H01L051/00(2)
发明人 CHOI S(4)
公开年 2016(4)
申请年 2016(3) 
专利权人 BASIC SCI IN.(3) UNIV SEOUL N.(3)