国家/地区 美国(4)
IPC部 G(4) H(4)
IPC大类 G01(4) H01(4)
IPC小类 G01N(4) H01L(4)
IPC G01N021/552(3) H01L021/02(3) H01L021/04(3)
H01L021/56(2)
发明人 FARMER D B(4)
公开年 2016(4)
申请年 2016(4)
专利权人 INT BUSINESS.(4)