国家/地区 美国(11) 世界知识产权组织(5)
IPC部 C(7) B(6) G(6)
H(6)
IPC大类 H01(6) B82(5) C23(5)
C01(3) G01(3) G02(3)
B32(2)
IPC小类 B82Y(5) C23C(5) H01L(5)
C01B(3) G01N(3) G02B(3)
B32B(2)
IPC B82Y030/00(3) C23C016/40(3) B32B018/00(2)
B32B038/10(2) B82Y040/00(2) B82Y099/00(2)
C01B032/194(2) C23C016/00(2) C23C016/02(2)
C23C016/455(2) H01L021/02(2)
发明人 GASKILL D K(12)
公开年 2016(4) 2013(3) 2018(2)
申请年 2015(2)  2016(2)  2018(2) 
专利权人 US SEC OF NA.(10) UNIV MARYLAN.(2) UNIV MASSACH.(2) UNIV MONASH(2)