国家/地区 中国(5)
IPC部 B(3) G(2) H(2)
IPC大类 B82(2) G01(2) H01(2)
IPC小类 B82Y(2) G01N(2) H01L(2)
IPC B82Y040/00(2) G01N021/35(2) H01L031/028(2)
发明人 HU D(5)
公开年 2016(4)
申请年 2015(5)
专利权人 NAT CENT NAN.(3)