国家/地区 中国(7)
IPC部 H(4) B(3) G(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) G01(2)
IPC小类 B82Y(2) G01N(2) H01L(2)
IPC B82Y040/00(2) G01N021/35(2) H01L031/028(2)
发明人 HU D(7)
公开年 2016(7)
申请年 2015(4)  2016(3) 
专利权人 NAT CENT NAN.(3)