国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(4) B(3) H(2)
IPC大类 B82(2) C01(2) C23(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(2) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(2)
发明人 HWANG J O(5)
公开年 2012(2) 2013(2)
申请年 2011(2)  2012(2) 
专利权人 KOREA ADVANC.(3) KOREA ADV IN.(2)