国家/地区 中国(18)
IPC部 C(8) G(4) B(3)
H(3) A(2)
IPC大类 C01(6) G06(4) C23(3)
H01(3) A61(2)
IPC小类 C01B(6) G06F(4) C23C(3)
A61N(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(6) G06F003/044(3) A61N005/06(2)
C23C016/02(2) C23C016/26(2) H01L021/67(2)
发明人 JIN H(18)
公开年 2015(18)
申请年 2014(11)  2015(7) 
专利权人 CHANGZHOU ER.(10) CHANGZHOU 2D.(7)