国家/地区 中国(4)
IPC部 H(4) C(3) B(2)
IPC大类 H01(4) C01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(3)
IPC C01B032/182(3) C01B031/04(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/786(2)
发明人 KIM H(4)
公开年 2016(2) 2017(2)
申请年 2016(4)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)