| 国家/地区 |
中国(3)
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| IPC部 | H(3) C(2) |
| IPC大类 | H01(3) C23(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C23C(2) |
| IPC | C23C016/56(2) |
| 发明人 |
KIM H S(3)
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| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 | 2020(2) |
| 专利权人 |
KIM H S, SHIN H K, SIM J H, KANG T W, CHO W J, SHIN H, SHIM J H, CAO Y, JIANG T, SHEN J, SHEN X, JIN X
BYUN K, KIM H, PARK T, SHIN H, AHN W, LEEM M, CHO Y, JIN H, PIAO T, SHEN X, LIN M, ZHAO L, BYUN K E, KIM H S, PARK T J, SHIN H J, AHN W S, CHO Y C
AN K, CHUNG T, JUNG D, KIM C G, KIM H S, LEE S S, LEE Y K, AN K S, CHUNG T M, LEE S, LI Y, KIM C, KIM H
