国家/地区 中国(3)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C23C(2)
IPC C23C016/56(2)
发明人 KIM H S(3)
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人

BYUN K, KIM H, PARK T, SHIN H, AHN W, LEEM M, CHO Y, JIN H, PIAO T, SHEN X, LIN M, ZHAO L, BYUN K E, KIM H S, PARK T J, SHIN H J, AHN W S, CHO Y C