国家/地区 美国(4) 世界知识产权组织(3) 韩国(2)
IPC部 B(4) C(4) H(3)
IPC大类 B82(4) C01(4) H01(3)
C23(2)
IPC小类 B82Y(4) C01B(4) B82B(3)
H01L(3)
IPC C01B031/04(4) B82B003/00(3) B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3) C01B031/02(3) H01L021/02(2)
H01L021/311(2)
发明人 KIM M(4)
公开年 2013(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 WISCONSIN ALUMNI RES FOUND(4)