国家/地区 韩国(4)
IPC部 C(4) H(4)
IPC大类 H01(4) C01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B031/02(2) H01L051/50(2)
发明人 KIM S I(4)
公开年 2014(2)
申请年
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(4)