国家/地区 韩国(3) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2) C23(2)
IPC小类 C01B(2) C23C(2) H01B(2)
H01L(2)
IPC C01B031/02(2) C01B031/04(2) C23C016/26(2)
发明人 KIM S J(3)
公开年 2012(3)
申请年 2011(3)
专利权人 UNIV SUNGKYU.(2)