| 国家/地区 | 日本(3) |
| IPC部 |
H(3)
B(2)
G(2)
|
| IPC大类 |
H01(3)
B82(2)
G01(2)
|
| IPC小类 |
H01L(3)
B82Y(2)
G01J(2)
|
| IPC |
B82Y040/00(2)
G01J001/02(2)
H01L031/10(2)
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| 发明人 |
KONDO D(3)
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| 公开年 | 2023(2) |
| 申请年 |
2021(3)
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| 专利权人 | FUJITSU LTD(3) |
