国家/地区 日本(3)
IPC部 H(3) B(2) G(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) G01(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2) G01J(2)
IPC B82Y040/00(2) G01J001/02(2) H01L031/10(2)
发明人 KONDO D(3)
公开年 2023(2)
申请年 2021(3)
专利权人 FUJITSU LTD(3)