| 国家/地区 |
日本(3)
|
| IPC部 |
H(3)
B(2)
C(2)
|
| IPC大类 |
H01(3)
B82(2)
C01(2)
|
| IPC小类 |
H01L(3)
B82Y(2)
C01B(2)
|
| IPC |
C01B031/02(2)
H01L021/3205(2)
H01L021/768(2)
H01L023/532(2) |
| 发明人 |
KONDO T(3)
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| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 | FUJITSU LTD(3) |
SATO S, NISHINO H, KONDO D, HAYASHI K, KONDO T
KONDO D, NAKANO H, KONDO T, NAKANO M
