国家/地区 日本(3)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2) C01B(2)
IPC C01B031/02(2) H01L021/3205(2) H01L021/768(2)
H01L023/532(2)
发明人 KONDO T(3)
公开年
申请年
专利权人 FUJITSU LTD(3)