国家/地区 韩国(5) 美国(4) 世界知识产权组织(3)
IPC部 B(6) C(6) H(5)
IPC大类 H01(5) C01(4) B01(3)
B32(3) C23(3) B82(2)
C08(2)
IPC小类 C01B(4) H01B(4) B32B(3)
C23C(3) H01L(3) B01J(2)
B82Y(2) C08J(2)
IPC C01B031/02(3) C23C016/26(3) B01J019/08(2)
B82Y040/00(2) H01B001/04(2) H01L021/268(2)
发明人 LEE K(6)
公开年 2012(5)
申请年 2011(6)
专利权人 KOREA ADV IN.(3)