国家/地区 美国(5) 韩国(4) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(6) C(5) H(5)
IPC大类 H01(5) C01(4) B01(3)
B82(3) C23(3) B32(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(4) B82Y(3)
C23C(3) H01B(3) B01J(2)
B32B(2)
IPC B82Y040/00(3) C01B031/02(3) C23C016/26(3)
B01J019/08(2) B82Y030/00(2) B82Y099/00(2)
H01B001/04(2) H01L021/268(2)
发明人 LEE K(6)
公开年 2012(6)
申请年 2011(5) 
专利权人 KOREA ADV IN.(2)