国家/地区 韩国(3)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) C23C(2)
IPC C01B031/02(2) C23C016/26(2) H01L021/027(2)
发明人 LEE Y K(3)
公开年 2012(3)
申请年 2011(2) 
专利权人 KOREA RES IN.(3)