国家/地区 中国(6)
IPC部 H(4) G(3) C(2)
IPC大类 H01(4) C09(2) G05(2)
IPC小类 G05D(2) H01G(2) H01L(2)
IPC G05D023/20(2) H01L025/075(2) H01L033/48(2)
H01L033/62(2) H01L033/64(2)
发明人 LI F(6)
公开年 2023(2)
申请年 2020(2)  2022(2) 
专利权人 LI F(6)