国家/地区 中国(7)
IPC部 C(4) B(3) G(2)
H(2)
IPC大类 B82(2) G01(2) H01(2)
IPC小类 B82Y(2) G01N(2) H01L(2)
IPC B82Y030/00(2) G01N027/26(2) H01L031/0352(2)
H01L031/108(2)
发明人 LIANG S(7)
公开年 2014(6)
申请年 2014(7)
专利权人 CHINA ELECTR.(2) UNIV NANJING.(2)