国家/地区 韩国(4) 美国(3)
IPC部 H(4) C(3) B(2)
IPC大类 H01(4) C01(3) B82(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(3) B82B(2)
IPC C01B031/02(3) B82B001/00(2) B82B003/00(2)
H01L029/49(2) H01L029/786(2)
发明人 LIM J A(4)
公开年 2014(3)
申请年 2013(2) 
专利权人 KOREA INST S.(4)