国家/地区 中国(11) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(7) H(5) E(2)
IPC大类 H01(5) C01(3) C23(3)
IPC小类 H01L(5) C01B(3) C23C(3)
IPC C01B031/04(3) C23C016/26(3) H01L041/113(3)
C01B032/192(2) C23C014/14(2) C23C014/35(2)
H01L041/047(2) H01L041/29(2)
发明人 LIN S(11)
公开年 2016(11)
申请年 2016(6)  2015(4) 
专利权人 LIAONING ADV.(3) SHENYANG INS.(3) LIN S(2) UNIV FUDAN(2)
UNIV ZHEJIAN.(2)