国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4) G(2)
IPC大类 C01(3) C04(2) G03(2)
IPC小类 C01B(3) C04B(2) G03F(2)
IPC G03F001/62(2) G03F001/64(2)
发明人 LIU B(4)
公开年 2022(2)
申请年 2021(2) 
专利权人